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台式掃描電鏡的8大特點

發布時間: 2021-12-16  點擊次數: 963次
   台式掃描電鏡早在1935年便已經被提出來了。1942年,英國首先製成一台實驗室用的掃描電鏡,但由於成像的分辨率很差,照相時間太長,所以實用價值不大。經過各國科學工作者的 努力,尤其是隨著電子工業技術水平的不斷發展,到1956年開始生產商品掃描電鏡。現在掃描電鏡已廣泛用於材料科學(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學、醫學、半導體材料與器件、地質勘探、病蟲害的防治、災害(火災、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業生產中的產品質量鑒定及生產工藝控製等。
  掃描電鏡的特點:
  (1)能夠直接觀察樣品表麵的結構,樣品的尺寸可大至120mm*80mm*50mm。
  (2) 樣品的製備過程簡單,不用切成薄片。
  (3) 樣品可以在樣品室中作三維空間的平移和旋轉,因此可以從各種角度對樣品進行觀察。
  (4) 景深大,圖像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表麵的細微結構。掃描電鏡的景深較光學顯微鏡大幾百倍,比透射電鏡大幾十倍。
  (5) 圖像的放大範圍廣,分辨率也比較高。可放大十幾倍到幾十萬倍,它基本上包括了從放大鏡、光學顯微鏡直到透射電鏡的放大範圍。分辨率介於光學顯微鏡與透射電鏡之間,可達3nm。
  (6) 電子束對樣品的損傷與汙染程度較小。
  (7) 能夠進行動態觀察(如動態拉伸、壓縮、彎曲、升降溫等)。
  (8) 在觀察形貌的同時,還可利用從樣品發出的其他信號做微區成分及晶體學分析。
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