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PANDORA 是高度集成的台式原子層沉積係統,可擺放在實驗室的任意角落,采用旋轉式反應腔實現對粉末材料的分散,有更高的兼容性。對於平麵樣品,則可快速插入平麵反應台,實現樣品的切換。PANDORA 高度集成的特點提高了使用效率,使用者甚至在安裝的第一天便可以開始 ALD 實驗。【ALD 包覆改性方案】
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